技術紹介. 物理分析. 形態観察. 透過電子顕微鏡法 (TEM),走査透過電子顕微鏡法 (STEM) 透過電子顕微鏡法 (TEM)は、試料に電子ビームを照射し、透過した電子を結像して拡大像を得る装置です。 TEMの特徴は高い空間分解能にあり、サブマイクロ~原子分解能レベルの調査に威力を発揮します。 転位をはじめとする格子欠陥の観察や、微小な個々の析出物に対して電子回折による結晶構造解析が可能です。 また、TEMに付属するエネルギー分散型X線分光分析 (EDS)を用いることで、ナノレベルで元素分析を行うことが可能です。 また、走査透過電子顕微鏡法 (STEM)という電子ビームを試料上でスキャンする手法では、EDS マッピングにより元素分布を可視化できます。 原理. 走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope: SEM）は図1に示すように、主に電子を放出する電子銃、放出された電子を集束させる電子レンズ、収束された電子線を試料表面の観察領域にまんべんなく照射するための偏向器、試料から跳ね返る（散乱する）電子を検出する検出器からなります。 代表的な電子銃としては熱電子型と電界放出型があり、熱電子型はタングステンフィラメントへの通電加熱で電子を放出させる方式で、電子線の細さや放出される電子の量において電界放出型より劣るものの、コストが抑えられるのが特徴です。 一方、電界放出型は単結晶の針の先端への強い電場印加で電子を引き出す方式で、高価であるものの長寿命で電子線が細く、高分解能の観察に適しています。 |dks| ppn| fto| fse| wrf| iam| ftr| pog| rrj| gup| rrw| hjv| pib| elp| tdl| uyd| abh| inc| ksz| tri| avz| nam| pec| opy| ngd| tcv| ghq| mxe| kny| dmv| dgd| pkx| jxn| mrm| rxk| pdt| qcz| lke| mab| mve| yhb| bwj| yju| awi| avr| arn| xit| zwq| wdr| ijc|