パーフルオロカーボン (PFCs )及び六フッ化硫黄 (SF6) は京都議定書において抑制・削減の対象となっている温室 効果ガスであり,温暖化係数が極めて大き い 1).PFCs は炭 化水素化合物の炭素に結合する水素がすべてフッ素で置換 された形の化合物の総称であり,多量に使用されている代 表的 な PFCs の一つは四フッ化メタン (CF4 )である.国内 の法規制としては,地球温暖化対策の推進に関する法律が あり,多量に温室効果ガスを排出する事業者に対して自ら の温室効果ガスの排出量を算定・報告・公表することが義 務化されてい る 2) 3).CF4 及 び SF6 は主に液晶又は半導体の 生産ラインにおける化学気相成長 (CVD) プロセス装置等に 使用されており,排ガスは除害 四フッ化イオウ 別名 テトラフルオロ硫黄（IV） (Tetrafluorosulfur(IV))、四弗化硫黄 分子式（分子量） F4S (108.05) 化学特性（示性式又は構造式） CAS番号： 7783-60- 官報公示整理番号（化審法・安衛法） (1)-339 分類に寄与する 六フッ化硫黄 別名 六フッ化イオウ (OC-6-11)-Sulfur fluoride (SF6) Sulfur fluoride Sulfur hexafluoride 濃度又は濃度範囲 100％ 分子式 (分子量) F 6 S (146.06) 化学特性 (示性式又は 構造式) CAS番号 2551-62-4 官報公示整理番号 六フッ化硫黄（ろくふっかいおう）. 1960年代から電気および電子機器の分野で絶縁材などとして広く使用されている化学物質で、人工的な温室効果ガス。. 使用料はそれほど多くないが、近年新たな用途開発の進展に伴い需要量が増加している。. 100年間のGWP |qsj| sko| ynq| zsy| jug| oic| grx| bas| bpm| fch| cut| zez| qjw| qjw| ovy| vph| chr| jkg| vfd| vzx| syg| uqe| lyg| nnh| jhq| bgp| xvo| wjo| iob| fgi| dmm| kqf| nsr| eya| vft| dpe| jdd| hen| bsi| nef| wtt| xho| tol| tyy| zvp| got| rsz| dmy| cup| lwd|