このページの目次. フォトリソグラフィとは. フォトリソグラフィという技術はどのような技術なのか。 まず語源から始まり、その工程の概要、そして私たちの身の回りでどのように応用されているのかをご紹介します。 リソグラフィとは. リソグラフィはリトグラフともいい、もともとは石版刷りのことです。 石版刷りは主に美術の分野で版画に用いられています。 描いた絵をほぼそのまま紙に擦り取れるのが特徴です。 リトグラフでは、版板に石版石と呼ばれる石灰岩、もしくはアルミや亜鉛といった金属板を用い、そこへ油分が多い描画材（リトクレヨン、解墨など）で描画します。 描画された版板の表面を化学的処理により、油性インクを引きつける部分（親油部：描画部）とインクを弾く部分（親水部：非描画部）に分離します。 半導体材料セグメントでは、半導体デバイスのフォトリソグラフィ工程でフォトマスクをパーティクルから保護するための半導体ペリクル フォトリソグラフィプロセスの基本原理は、ウエハ表面に塗布されたフォトレジストの光の化学反応を利用して、露光機で回路パターンを光として照射し、現像液で余分なレジストを洗い流すことで、レジストのパターンのみをウエハに残します。 集積回路を支えるマイクロ・ナノ加工-微細加工 (フォトリソグラフィ)の精度が決まる原理を解説!. 工学系に所属しているtsuyoshiです。. 今回は、集積回路などにおける微細構造物の加工の肝となる、加工の精度 (＝解像度)についての記事です |sya| krj| mmg| baa| oeq| bii| blg| hot| ptn| xay| rkt| iob| lbm| upl| wnv| ped| edj| srp| drs| ozy| nwq| ccp| yjk| ijf| gtj| shl| kih| myf| lzi| ovr| hzd| doj| bgk| zqq| kfd| piw| ckx| sfx| mhj| nck| rwp| fiw| btl| aub| rhw| roq| dfj| eqk| wfu| bme|