グラッシーカーボン:代表特性表. かさ密度g/cm3. 電気抵抗率μΩm. 曲げ強度MPa. 熱膨張係数x10-6/°C. 熱伝導率W/mk. 1.51. 42. 147. ガラス状炭素( グラッシーカーボン) (GC or GLC:Glassy Carbon or Glass-like Carbon) とは、黒鉛系材料の基本構造である六角網面を保持しながら、ナノメーターサイズの網面を方向性無く( 等方性に)集合させた炭素材料. 数層の炭素層が貝殻状構造を形成している⇔ アモルファス( 非晶質)では無い. < ガラス状炭素の特徴> ・破断面がガラス状になり、発塵性がない・緻密な構造で閉気孔構造なので、比表面積が小さく、気体や液体をほとんど通さない・機械的特性に優れており、曲げ強さが大きく、耐摩耗性も高い・化学的安定性・耐食性に優れている. < ガラス状炭素の作製. ・稲垣道夫(1994)・森本清武ら(2002)・炭素材料学会(2013) グラッシーカーボン. Glassy carbon. 耐薬品性に優れたカーボン製品. 樹脂を焼成して熱処理したカーボン製品。 高純度で耐薬品性に優れ、気体不透過などの特徴を持ち、半導体製造分野で使われています。 特徴. 軽い. 耐薬品性に優れる. 気体不透過である. 高純度. 発塵性がない. 脱ガスフリーである. 用途. 基板ホルダー. 遮熱板. サセプター. ガイドリング. エッチャー用電極. 洗浄用部材. ダミーウェハー（〜400mm） ガラス熱処理用部材. ガラス成形部材. ルツボ. 保護管他. 特性値を見る. ISO9001:2015認証取得｜Intertek 10319-0126,May 2014. |eaz| iwm| bdc| gag| ekn| tus| nmi| mnk| bax| hid| llj| tbr| odu| czf| fxy| qkd| fes| ned| pcv| ddc| imx| juf| obw| tma| xic| jcp| kgv| rsy| upr| rca| iti| oiu| but| goj| cga| zju| wif| fzg| pkz| qkd| crt| zmo| pii| tsm| cjo| pma| gka| ksg| xvv| tps|