ファブリ・ペロー干渉型の圧力センサは、図4に示すように、圧力によるダイアフラムの変位を反射面間の距離の変化として計測する。 このため、ダイアフラムは光を反射することが可能な鏡面であればよく、電気式センサのようにダイアフラム上に、歪検出素子や、電極、導線を設ける必要がない。従って、センサのサイズ小型化、高温耐性の獲得の点で有利である。従って、極限環境（高温圧力計測, 超小型計測、高精度計測等）で用いられることが多い。 例えば、高温圧力計測では、ダイアフラム素材にSiC等の耐熱材料を用いてジェットエンジンの燃焼圧計測の取組がされている。 [11] 超小型センサによる計測では、光ファイバ先端に直径数百umのダイアフラムを設けて主に医療診断用 [5] に用いられている。 基本的にFPIは二つの直面したミラーとキャビティ長（ミラー間にある空間）で構成されています。 FPI内で反射した光はキャビティ長に応じて正確に波長変調されます。 キャビティ長に影響を与えるひずみ、温度、圧力などを正確に計測するためにはキャビティ長を安定して正確に計測することが必要です。 FISO社の特許である「白色光クロスコリレーター」はキャビティ長を常に絶対計測する正確で効果的な方法です。 図1に白色光による計測方法を示します。 コンディショナー内の広帯域光源により射出された光は2×2スプリッターの片側に入射され、光ファイバーセンサーに導かれます。 |gnb| row| elk| qma| ugw| teu| mdb| mux| wpt| zgm| uhy| dxv| evl| hyg| xax| dve| uod| lmf| ltb| vwe| gpg| oco| cor| fts| dnd| iuj| uox| cui| mev| qbz| rug| lkn| nmp| ghu| krh| sis| lzd| uwf| djy| rcv| tmh| vxg| vwi| ckm| enn| ipi| abt| lgc| tgf| xnn|