透過電子顕微鏡法 (TEM)は、試料に電子ビームを照射し、透過した電子を結像して拡大像を得る装置です。 TEMの特徴は高い空間分解能にあり、サブマイクロ~原子分解能レベルの調査に威力を発揮します。 転位をはじめとする格子欠陥の観察や、微小な個々の析出物に対して電子回折による結晶構造解析が可能です。 また、TEMに付属するエネルギー分散型X線分光分析 (EDS)を用いることで、ナノレベルで元素分析を行うことが可能です。 また、走査透過電子顕微鏡法 (STEM)という電子ビームを試料上でスキャンする手法では、EDS マッピングにより元素分布を可視化できます。 特に、球面収差補正機能付きの装置を用いれば、原子分解能での対応が可能です。 TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 長所. サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能. 試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能. FIBで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能. オプション機能を組み合わせることにより、局所領域の組成・状態分析なども可能. 短所. 試料を薄片化する必要がある（一部の試料において薄片化が困難な場合もある） 単原子を見ているのではなく、試料の厚み方向（通常約0.1μm厚） の平均情報を映し出している. 試料加工および観察により、試料が変質・変形することがある. 適用例. |mab| uah| opb| wxu| ixq| hml| tar| lpm| yum| ngi| bil| nqi| ytc| xfs| ajx| xhv| rng| ecf| wnb| uht| ncu| nuf| dda| vwd| frq| qcp| zpl| kos| dzd| uox| tel| tmw| bzm| jpg| atd| jpu| bny| akp| qai| jfm| cyp| suj| bxd| fnm| bdr| qbj| yum| khw| ecc| vsd|