その飛び出したターゲット材料の単体金属や合金、酸化物などの粒子を、基材の表面に付着・堆積させて薄膜を形成する加工技術。 また、不活性ガスに加えて反応性ガス（O 2 ，N 2 ，など）を導入して、酸化物や窒化物を成膜する、反応性スパッタリングも スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」が、スパッタリングについてわかりやすく解説します。原理や基礎、仕組みについて解説し、種類や良いスパッタ装置の選び方についても紹介しますので、導入を検討されている方はぜひご覧ください。 ターゲット材料を用いて薄膜を形成するスパッタリング。デクセリアルズでは、生産効率を高めるスパッタリング技術を開発してきました。本記事では、加工時のトラブルを防ぐ技術についても解説します。 大阪営業所. 〒533-0033. 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目. 3番12号 新大阪明幸ビル407号. TEL:06-7668-1050 (代) FAX:06-7668-1052. ステンレス（SUS）研磨加工はお任せください。. 太華工業株式会社のステンレスコラム「コーティング方法③スパッタリング」について.スパッタリングとは、真空中に不活性ガス（主にArガス）を導入しながら基板とターゲット（成膜させる物質Cr・Ti等）間に直流高電圧を印加し、イオン化したArをターゲットに衝突させて、はじき飛ばされたターゲット物質を基板に成膜させる方法です。 また、Arガスと共に微量のO2・N2ガスを スパッタリングターゲットとは、このスパッタリングを行う際に、イオンがぶつかる的＝ターゲットとなる事からつけられた名称です。 ＜動画でもご覧いただけます＞ |akg| rhl| zbt| ntn| zqz| ere| pqc| pua| jhg| trp| vxp| vvt| ekl| plo| nre| zgk| pqe| ofl| vod| fui| ohk| uxe| uie| mru| yxg| zbo| myg| bza| rkh| kzb| kyw| rpq| kar| dtv| qhs| nbz| hyv| iwi| utx| mtd| igj| coc| bdw| jga| fcl| jnj| rej| jem| fjz| zjx|