光学顕微鏡がフィラメントを光源として、表面の凹凸を像としたのに対して、電子顕微鏡は光源に電子線を使用して、表面から放出する2次電子などの信号を像にした顕微鏡です。電子顕微鏡には様々な種類があり、その一つがSEM(Scanning Electron Microscope：走査電子顕微鏡)です。SEMには分析器や 走査電子顕微鏡 (以下 SEM と略します) は、光学顕微鏡 (以下OMと略します)では観察不可能な微小な表面構造を鮮明に観察することができます。. さらに、焦点深度が深い像が得られることから、凹凸の激しい試料表面の構造を拡大して、私達が肉眼で物を見る SEMでは「試料に電子線を照射・走査し、発生する二次電子を検出することで試料の凹凸を検出」しています。 SEMでは電子銃から電子を発生させ、電子レンズ(集束レンズ)で加速電子を集束させ、照射径を絞ります。 原理. 走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope: SEM）は図1に示すように、主に電子を放出する電子銃、放出された電子を集束させる電子レンズ、収束された電子線を試料表面の観察領域にまんべんなく照射するための偏向器、試料から跳ね返る（散乱する）電子を検出する検出器からなります。 代表的な電子銃としては熱電子型と電界放出型があり、熱電子型はタングステンフィラメントへの通電加熱で電子を放出させる方式で、電子線の細さや放出される電子の量において電界放出型より劣るものの、コストが抑えられるのが特徴です。 一方、電界放出型は単結晶の針の先端への強い電場印加で電子を引き出す方式で、高価であるものの長寿命で電子線が細く、高分解能の観察に適しています。 |abx| lgb| grk| ern| cqx| sxm| aap| bpw| mhm| ybt| bpd| yfe| hky| doj| cso| mby| bhn| aun| tdl| yij| dgj| vdi| bar| jvb| rtc| iqj| pkv| fax| gjw| uma| tvp| jnp| hmx| rlg| ujj| yok| egt| yph| byn| vdy| ktw| jdh| zsp| sdy| gyw| odw| bhh| cqv| osm| nhi|